中國網(wǎng)財經(jīng)10月23日訊 近日，深圳市恒運昌真空技術股份有限公司就公司科創(chuàng)板上市審核問詢函作出回復。

　　

招股書顯示，恒運昌主要提供集成電路裝備核心零部件整體解決方案，自研產(chǎn)品主要為等離子體射頻電源系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括等離子體射頻電源和匹配器，目前已推出CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品。

　　

恒運昌2025年6月遞交招股書，保薦人為中信證券，7月迎來首次問詢，并被列入中國證券業(yè)協(xié)會2025年第二批首發(fā)企業(yè)現(xiàn)場檢查抽查名單。招股書顯示，2022年至2024年及2025年上半年，公司營業(yè)收入分別為1.58億元、3.25億元、5.41億元和3.04億元，對應凈利潤分別為2638.97萬元、8053.58萬元、1.43億元和6942.42萬元。

　　

值得一提的是，恒運昌的股權高度集中。公司實控人樂衛(wèi)平直接持股比例為23.08%，通過恒運昌投資、投資中心、投資發(fā)展中心間接控制公司49.7861%股權，合計控制恒運昌72.8727%的表決權。同時，實控人配偶曹立持有公司控股股東恒運昌30%股權，實控人配偶的妹夫俞日明直接持有公司0.5799%股權。

　　

保薦人中信證券通過其全資子公司中證投資持有公司0.6076%股權，并通過以自有、資管或募集資金投資的相關金融產(chǎn)品間接持有少量公司股份。

　　

在問詢函中，上交所共就核心技術、單一客戶依賴、貨幣資金與現(xiàn)金流量以及募投項目等18個方面提出問題。

　　

上交所指出，國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)相較于國際頭部廠商的產(chǎn)品在電源波形、頻率和功率，以及精準控制等離子體濃度、均勻度等方面存在差距，特別在阻抗的高速匹配、多頻率電源、應用于先進刻蝕工藝的偏置裁剪波電源等產(chǎn)品上，國產(chǎn)射頻電源發(fā)展滯后，要求公司說明產(chǎn)品或核心技術的最關鍵指標或維度，產(chǎn)品在阻抗高速匹配等性能問題方面的表現(xiàn)情況，與國際龍頭企業(yè)產(chǎn)品技術水平差距的具體體現(xiàn)等。

　　

中國網(wǎng)財經(jīng)10月23日訊 近日，深圳市恒運昌真空技術股份有限公司就公司科創(chuàng)板上市審核問詢函作出回復。

　　

招股書顯示，恒運昌主要提供集成電路裝備核心零部件整體解決方案，自研產(chǎn)品主要為等離子體射頻電源系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括等離子體射頻電源和匹配器，目前已推出CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品。

　　

恒運昌2025年6月遞交招股書，保薦人為中信證券，7月迎來首次問詢，并被列入中國證券業(yè)協(xié)會2025年第二批首發(fā)企業(yè)現(xiàn)場檢查抽查名單。招股書顯示，2022年至2024年及2025年上半年，公司營業(yè)收入分別為1.58億元、3.25億元、5.41億元和3.04億元，對應凈利潤分別為2638.97萬元、8053.58萬元、1.43億元和6942.42萬元。

　　

值得一提的是，恒運昌的股權高度集中。公司實控人樂衛(wèi)平直接持股比例為23.08%，通過恒運昌投資、投資中心、投資發(fā)展中心間接控制公司49.7861%股權，合計控制恒運昌72.8727%的表決權。同時，實控人配偶曹立持有公司控股股東恒運昌30%股權，實控人配偶的妹夫俞日明直接持有公司0.5799%股權。

　　

保薦人中信證券通過其全資子公司中證投資持有公司0.6076%股權，并通過以自有、資管或募集資金投資的相關金融產(chǎn)品間接持有少量公司股份。

　　

在問詢函中，上交所共就核心技術、單一客戶依賴、貨幣資金與現(xiàn)金流量以及募投項目等18個方面提出問題。

　　

上交所指出，國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)相較于國際頭部廠商的產(chǎn)品在電源波形、頻率和功率，以及精準控制等離子體濃度、均勻度等方面存在差距，特別在阻抗的高速匹配、多頻率電源、應用于先進刻蝕工藝的偏置裁剪波電源等產(chǎn)品上，國產(chǎn)射頻電源發(fā)展滯后，要求公司說明產(chǎn)品或核心技術的最關鍵指標或維度，產(chǎn)品在阻抗高速匹配等性能問題方面的表現(xiàn)情況，與國際龍頭企業(yè)產(chǎn)品技術水平差距的具體體現(xiàn)等。

　　

對此，恒運昌披露了衡量關鍵指標并表示，公司等離子體射頻電源系統(tǒng)的阻抗高速匹配性能達到了國際龍頭企業(yè)次新一代產(chǎn)品的技術水平，公司基于國內(nèi)領先的核心技術，自主研發(fā)的第二代產(chǎn)品Bestda系列等離子體射頻電源系統(tǒng)可支撐28納米制程，第三代產(chǎn)品Aspen系列等離子體射頻電源系統(tǒng)可支撐7-14納米制程，達到國際先進水平，填補國內(nèi)空白。公司的核心技術存在很高的技術壁壘。

　　

　　

　　

衡量恒運昌產(chǎn)品或核心技術的關鍵指標(來源：問詢函回復報告)

　　

在問詢函中，上交所還就恒運昌單一客戶依賴問題發(fā)問。報告期內(nèi)，恒運昌向大客戶拓荊科技的銷售收入占營業(yè)收入的比重分別為45.23%、58.16%及63.13%，同時拓荊科技持有其3.42%的股份。上交所要求其說明雙方業(yè)務合作的穩(wěn)定性及可持續(xù)性，是否存在購銷、業(yè)績等方面的特殊約定，業(yè)務獲取是否影響獨立性等內(nèi)容。

　　

恒運昌認為，雙方未來業(yè)務合作具有穩(wěn)定性及可持續(xù)性，公司2018年開始為拓荊科技研發(fā)射頻電源及匹配器，拓荊科技2022年投資入股，原因是保障自身供應鏈安全需要，拓荊科技入股前后銷售規(guī)模、合同主要約定均未發(fā)生較大變化，相關定價公允，業(yè)務獲取方式不影響獨立性。

　　

此外，問詢函還涉及恒運昌的現(xiàn)金流量問題。報告期內(nèi)，公司的經(jīng)營性現(xiàn)金流凈額分別為1124.66萬元、4544.89萬元、9950.02萬元和-952.24萬元，與凈利潤之間的差額分別為-1514.31萬元、-3508.69萬元、-4364.91萬元及-7894.66萬元。恒運昌在回復中表示，該差異主要系固定資產(chǎn)折舊等非付現(xiàn)折舊成本、存貨變動、經(jīng)營性應收項目和經(jīng)營性應付項的變動等因素導致。

　　

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