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士蘭微獲得發(fā)明專利授權(quán):“一種慣性傳感器及其制備方法”

編輯:民品導(dǎo)購網(wǎng) 發(fā)布于2025-10-22 06:34
導(dǎo)讀: 證券之星消息 根據(jù)天眼查APP數(shù)據(jù)顯示士蘭微 600460 新獲得一項(xiàng)發(fā)明專利授權(quán) 專利名為 一種慣性傳感器及其制備方法 專利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202111616431 7 授權(quán)日為2025年8月15日 專...

證券之星消息,根據(jù)天眼查APP數(shù)據(jù)顯示士蘭微(600460)新獲得一項(xiàng)發(fā)明專利授權(quán),專利名為“一種慣性傳感器及其制備方法”,專利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202111616431.7,授權(quán)日為2025年8月15日。

專利摘要:公開了一種慣性傳感器及其制備方法,方法包括:在襯底上形成介質(zhì)層以及導(dǎo)電層;在導(dǎo)電層中形成開口以暴露出部分介質(zhì)層的表面;在導(dǎo)電層上形成保護(hù)層,保護(hù)層覆蓋部分導(dǎo)電層、開口的側(cè)壁及開口暴露的介質(zhì)層的表面;在部分導(dǎo)電層和部分保護(hù)層上形成具有第二開口的第二介質(zhì)層;在第二介質(zhì)層上形成第二導(dǎo)電層,第二導(dǎo)電層填充第二開口;在第二導(dǎo)電層上形成鍵合結(jié)構(gòu);圖形化第二導(dǎo)電層,形成第三開口;經(jīng)由第三開口去除部分第二介質(zhì)層,形成空腔及可動(dòng)質(zhì)量塊;去除空腔中的導(dǎo)電層和介質(zhì)層表面暴露的保護(hù)層。本發(fā)明實(shí)施例的慣性傳感器及其制備方法通過保護(hù)層保證了慣性傳感器的可靠性。

今年以來士蘭微新獲得專利授權(quán)56個(gè),較去年同期增加了21.74%。結(jié)合公司2024年年報(bào)財(cái)務(wù)數(shù)據(jù),2024年公司在研發(fā)方面投入了10.34億元,同比增19.76%。

通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,杭州士蘭微電子股份有限公司共對(duì)外投資了30家企業(yè),參與招投標(biāo)項(xiàng)目23次;財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息59條,專利信息1159條,著作權(quán)信息20條;此外企業(yè)還擁有行政許可251個(gè)。

數(shù)據(jù)來源:天眼查APP

為證券之星據(jù)公開信息整理,由AI算法生成(網(wǎng)信算備310104345710301240019號(hào)),不構(gòu)成投資建議。

  

證券之星消息,根據(jù)天眼查APP數(shù)據(jù)顯示士蘭微(600460)新獲得一項(xiàng)發(fā)明專利授權(quán),專利名為“一種慣性傳感器及其制備方法”,專利申請(qǐng)?zhí)枮镃N202111616431.7,授權(quán)日為2025年8月15日。

專利摘要:公開了一種慣性傳感器及其制備方法,方法包括:在襯底上形成介質(zhì)層以及導(dǎo)電層;在導(dǎo)電層中形成開口以暴露出部分介質(zhì)層的表面;在導(dǎo)電層上形成保護(hù)層,保護(hù)層覆蓋部分導(dǎo)電層、開口的側(cè)壁及開口暴露的介質(zhì)層的表面;在部分導(dǎo)電層和部分保護(hù)層上形成具有第二開口的第二介質(zhì)層;在第二介質(zhì)層上形成第二導(dǎo)電層,第二導(dǎo)電層填充第二開口;在第二導(dǎo)電層上形成鍵合結(jié)構(gòu);圖形化第二導(dǎo)電層,形成第三開口;經(jīng)由第三開口去除部分第二介質(zhì)層,形成空腔及可動(dòng)質(zhì)量塊;去除空腔中的導(dǎo)電層和介質(zhì)層表面暴露的保護(hù)層。本發(fā)明實(shí)施例的慣性傳感器及其制備方法通過保護(hù)層保證了慣性傳感器的可靠性。

今年以來士蘭微新獲得專利授權(quán)56個(gè),較去年同期增加了21.74%。結(jié)合公司2024年年報(bào)財(cái)務(wù)數(shù)據(jù),2024年公司在研發(fā)方面投入了10.34億元,同比增19.76%。

通過天眼查大數(shù)據(jù)分析,杭州士蘭微電子股份有限公司共對(duì)外投資了30家企業(yè),參與招投標(biāo)項(xiàng)目23次;財(cái)產(chǎn)線索方面有商標(biāo)信息59條,專利信息1159條,著作權(quán)信息20條;此外企業(yè)還擁有行政許可251個(gè)。

數(shù)據(jù)來源:天眼查APP

為證券之星據(jù)公開信息整理,由AI算法生成(網(wǎng)信算備310104345710301240019號(hào)),不構(gòu)成投資建議。

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